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发明名称 APPARATUS INSPECTION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH07190948(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19930347543 申请日期 1993.12.25
申请人 HITACHI DENSHI LTD 发明人 OTSUKA SHIGENOBU
分类号 G01B11/24;G01N21/88;G01N21/956;H05K3/34;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
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