| 发明名称 |
METHOD FOR DETECTING END POINT OF PLASMA ETCHING AND PLASMA ETCHING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07169741(A) |
申请公布日期 |
1995.07.04 |
| 申请号 |
JP19930312982 |
申请日期 |
1993.12.14 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
HASEBE ARIHIRO;MIYAKE AKIHIRO |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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