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发明名称 Halbleiteranordnungen mit eng beabstandeten Gebieten, hergestellt unter Verwendung eines selbstausrichtenden Umkehrbildverfahrens.
摘要
申请公布号 DE68922817(D1) 申请公布日期 1995.06.29
申请号 DE1989622817 申请日期 1989.09.26
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 CHU, SHAO-FU SANFORD, POUGHKEEPSIE, N.Y. 12603, US;KU, SAN-MEI, POUGHKEEPSIE, N.Y. 12603, US;LANGE, RUSSELL C., WAPPINGERS FALLS, N.Y. 12590, US;SHEPARD, JOSEPH FRANCIS, HOPEWELL JUNCTION, N.Y. 12533, US;TSANG, PAUL JA-MIN, POUGHKEEPSIE, N.Y. 12603, US;WANG, WEN-YUAN, HOPEWELL JUNCTION, N.Y. 12533, US
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/60;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/033;H01L21/285;H01L21/76 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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