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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH07153798(A) 申请公布日期 1995.06.16
申请号 JP19930329929 申请日期 1993.11.30
申请人 SONY CORP 发明人 KOSUGE KATSUYA
分类号 H01L21/60;H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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