Procédé de fabrication de composant de type empilé.

摘要

L'invention concerne la fabrication de condensateur et/ou de résistance de type empilé(e) constitué(e) d'une alternance de couches diélectriques et de couches conductrices. Les couches diélectriques sont déposées par polymérisation d'éléments issus de la dissociation par plasma différé d'azote d'un gaz organo-silicé ou organo-germané et les couches conductrices sont réalisées simultanément par dépôt de polymère conducteur issu de la dissociation par plasma différé d'azote d'hydrogène sulfureux ou de dichlorure de soufre. Les dépôts diélectriques et conducteurs sont effectués sur un substrat diélectrique placé à la surface d'un tambour en rotation, la rotation s'effectuant de façon qu'une même portion du substrat diélectrique se trouve successivement en regard d'au moins un dispositif de dépôt de diélectrique et d'au moins un dispositif de dépôt de polymère conducteur, chaque dépôt de diélectrique ou de conducteur étant précédé d'un masquage des zones où ledit dépôt n'est pas autorisé.