发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR REMOVING RESIST AROUND PERIPHERY OF RECTANGULAR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH07142317(A) 申请公布日期 1995.06.02
申请号 JP19930186789 申请日期 1993.06.29
申请人 SIGMA MERUTETSUKU KK 发明人 TAKANO MICHIO
分类号 H01L21/30;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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