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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR REMOVING RESIST AROUND PERIPHERY OF RECTANGULAR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH07142317(A)
申请公布日期
1995.06.02
申请号
JP19930186789
申请日期
1993.06.29
申请人
SIGMA MERUTETSUKU KK
发明人
TAKANO MICHIO
分类号
H01L21/30;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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