发明名称 |
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07142496(A) |
申请公布日期 |
1995.06.02 |
申请号 |
JP19930287994 |
申请日期 |
1993.11.17 |
申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI MICOM SYST:KK |
发明人 |
NAGANO HIROMI;NIINO KAORU;SHIGEMATSU TAKU;SHINDO YOSHIMI |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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