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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERANORDNUNGEN.
摘要
申请公布号 DE68922293(D1) 申请公布日期 1995.05.24
申请号 DE1989622293 申请日期 1989.06.15
申请人 OHMI, TADAHIRO, SENDAI, MIYAGI, JP 发明人 OHMI, TADAHIRO, SENDAI-SHI,MIYAGI-KEN 980, JP;SHIBATA, TADASHI, SENDAI-SHI,MIYAGI-KEN 980, JP;UMEDA, MASARU, TOKYO 103, JP
分类号 C23C14/06;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/336;H01L21/84;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
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