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发明名称 ILLUMINATING EQUIPMENT AND ALIGNER PROVIDED WITH SAID ILLUMINATING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH07135148(A) 申请公布日期 1995.05.23
申请号 JP19930159057 申请日期 1993.06.29
申请人 CANON INC 发明人 HAYATA SHIGERU
分类号 G03B27/72;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027;G03B27/32 主分类号 G03B27/72
代理机构 代理人
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