| 发明名称 |
THIN-FILM STRUCTURAL BODY AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07126850(A) |
申请公布日期 |
1995.05.16 |
| 申请号 |
JP19930271645 |
申请日期 |
1993.10.29 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
OGURI KAZUYUKI;ISHIDA NAOKI |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/56;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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