| 发明名称 |
METHOD FOR PARTITION OF MODEL INCLUDED IN IRRADIATION PATTERN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07115046(A) |
申请公布日期 |
1995.05.02 |
| 申请号 |
JP19930345823 |
申请日期 |
1993.12.24 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
BAAJINIA MARII CHIYUN;JIYOSEFU BURAISU FUREI;JIEEMUSU EDOWAADO SUCHIYUWAATO |
| 分类号 |
H01L21/027;B82B1/00;H01J37/302;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
