| 发明名称 |
Tunnel injection semiconductor devices and its manufacturing process. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0469611(B1) |
申请公布日期 |
1995.04.05 |
| 申请号 |
EP19910112961 |
申请日期 |
1991.08.01 |
| 申请人 |
HITACHI, LTD. |
发明人 |
HONMA, HIDEO;KAWAKAMI, SUMIO;NAGANO, TAKAHIRO |
| 分类号 |
H01L21/336;H01L29/47;H01L29/772;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/73;H01L29/76;H01L29/417;H01L21/329 |
主分类号 |
H01L21/336 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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