| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR MATERIAL |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0778759(A) |
申请公布日期 |
1995.03.20 |
| 申请号 |
JP19920350547 |
申请日期 |
1992.12.04 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI;CHIYOU KOUYUU;KUSUMOTO NAOTO;TAKEMURA YASUHIKO |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/26;H01L21/265;H01L21/268;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
