发明名称 FILM CARRIER AND SEMICONDUCTOR DEVICE USING SAME
摘要
申请公布号 JPH0758161(A) 申请公布日期 1995.03.03
申请号 JP19930218053 申请日期 1993.08.10
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 ISHII TAKAHISA
分类号 H01L21/60;H01L23/12;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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