发明名称 METHOD OF COMBINED IONIC PLASMA TREATMENT OF PRODUCTS
摘要
申请公布号 RU2029796(C1) 申请公布日期 1995.02.27
申请号 SU19925049581 申请日期 1992.06.26
申请人 NAUCHNO-PROIZVODSTVENNOE PREDPRIYATIE "NOVATEKH" 发明人 GRIGOREV SERGEJ N
分类号 C23C14/46;(IPC1-7):C23C14/46 主分类号 C23C14/46
代理机构 代理人
主权项
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