发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 JPH0738099(A) 申请公布日期 1995.02.07
申请号 JP19930176706 申请日期 1993.07.16
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 YAGI TAKASHI
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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