发明名称 |
CANTILEVER WITH THIN FILM TYPE DISPLACEMENT SENSOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0727559(A) |
申请公布日期 |
1995.01.27 |
申请号 |
JP19930175368 |
申请日期 |
1993.07.15 |
申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
FUJIO HISAMITSU;WATANABE SHUNJI |
分类号 |
G01B21/30;B81B3/00;G01Q20/04;G01Q60/32;G01Q60/38;H01J37/28;(IPC1-7):G01B21/30 |
主分类号 |
G01B21/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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