发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR EPITAXIAL WAFER
摘要
申请公布号 JPH0722614(A) 申请公布日期 1995.01.24
申请号 JP19930166538 申请日期 1993.07.06
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 NIIZAWA MASAHARU;MEGURO TAKESHI
分类号 C30B25/02;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/778 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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