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发明名称 PLASMA CVD APPARATUS
摘要
申请公布号 KR950000310(B1) 申请公布日期 1995.01.13
申请号 KR19910007645 申请日期 1991.05.13
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND. LTD. 发明人 MURATA, MASAYOSHI;TAKEUCHI, YOSHIAKI;KODAMA, MASARU;UCHIDA, SATOSHI;HAMAMOTO, KATSUTOSHI
分类号 C23C16/50;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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