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发明名称 Method of high yield manufacture of vlsi type integrated circuit devices by determining critical surface characteristics of mounting films
摘要
申请公布号 GB9423686(D0) 申请公布日期 1995.01.11
申请号 GB19940023686 申请日期 1994.11.23
申请人 AT&T CORP. 发明人
分类号 G01B9/02;B24B37/04;G01B11/00;G01B11/24;G01B11/30;G03F7/20;H01L21/66 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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