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<p>Si realizza un metodo di disposizione per spruzzo a plasma a radiofrequenza bassa che è specialmente efficace nel ridurre perdite e migliorare il riscaldamento di particelle. In un aspetto dell'invenzione, un cannone per plasma a radiofrequenza è fatto funzionare in una gamma di frequenza al di sotto di 1MHz e una miscela di argon e elio, al quale un terzo componente, come idrogeno, può pure essere ammesso, è sostituita alla miscela standard di argon e idrogeno usata a frequenze superiori a 2MHz. In un altro aspetto dell'invenzione, un cannone per plasma a radiofrequenza viene fatto funzionare nella gamma di frequenza da 400 a 500 KHz e vengono esposte particolari procedure le condizioni di avviamento e di funzionamento e di una deposizione con successo di titanio e di leghe di metalli refrattari.</p> |
