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发明名称 EVAPORATION SOURCE FOR ORGANIC COMPOUND
摘要
申请公布号 JPH06349809(A) 申请公布日期 1994.12.22
申请号 JP19930138656 申请日期 1993.06.10
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 TAKAHASHI YOSHIKAZU
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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