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发明名称 THIN FILM-FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06349791(A) 申请公布日期 1994.12.22
申请号 JP19930140880 申请日期 1993.06.11
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 TAKEYASU NOBUYUKI;KOUNO YUMIKO;YAMAMOTO HIROSHI;KONDO HIDEKAZU;OOTA TOMOHIRO
分类号 H01L21/285;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/320 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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