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发明名称 METHODE ZUM PRÄPARIEREN VON SILIZIUMCARBIDOBERFLÄCHEN FÜR KRISTALLWACHSTUM.
摘要
申请公布号 DE69013928(D1) 申请公布日期 1994.12.08
申请号 DE1990613928 申请日期 1990.08.06
申请人 CREE RESEARCH, INC., DURHAM, N.C., US 发明人 PALMOUR, JOHN, W., CARY, NC 27513, US;KONG, HUA-SHUANG, RALEIGH, NC 27607, US;EDMOND, JOHN, A., APEX, NC 27502, US
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/36;H01L21/465;(IPC1-7):H01L21/36 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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