发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06338561(A) 申请公布日期 1994.12.06
申请号 JP19930128872 申请日期 1993.05.31
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SAKAI HIROYUKI
分类号 H01L21/76;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/76;H01L29/784 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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