发明名称 FORMATION OF MULTILAYER INTERCONNECTION
摘要
申请公布号 JPH06333928(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930124311 申请日期 1993.05.26
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 SAKAMURA SHOJI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/90 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利