发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND AVALANCHE PHOTODIODE
摘要
申请公布号 JPH06334210(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930116844 申请日期 1993.05.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ONO KENICHI;OKURA YUJI
分类号 H01L31/107;(IPC1-7):H01L31/107 主分类号 H01L31/107
代理机构 代理人
主权项
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