发明名称
摘要
申请公布号 JPH0691037(B2) 申请公布日期 1994.11.14
申请号 JP19860123361 申请日期 1986.05.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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