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发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH06310453(A)
申请公布日期
1994.11.04
申请号
JP19930120914
申请日期
1993.04.23
申请人
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD
发明人
HONGO AKIHIKO
分类号
H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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