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发明名称 BARREL TYPE VAPOR GROWTH EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH06310431(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930099905 申请日期 1993.04.27
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 ITO TAKESHI;ISHIHARA AKIRA
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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