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发明名称 WASHING/DRYING METHOD AND ITS DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06306655(A) 申请公布日期 1994.11.01
申请号 JP19930113968 申请日期 1993.04.17
申请人 SUPIIDE FUAMU CLEAN SYST KK;MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SUGAI JUNICHI;NISHIYAMA TETSUO;OMORI SHOICHI
分类号 B08B3/08;C11D7/04;C23G1/24;H01L21/304;(IPC1-7):C23G1/24 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
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