具有高频低应力扫描元件的高速扫描器

摘要

本发明的目的是提供一种扫描器内的扫描机构，该扫描器对具有不同光反射率部分的记号作反复扫描动作，本发明还涉及以二维或多轴扫描模式作高速扫描的上述型扫描机构的动作。在共振非对称扫描元件(RASE)中，用扫描镜构成的扫描元件，不象以往那样安装在其质量中心，而是沿其上侧边缘安装，使扫描元件的质量中心与其高频旋转振动轴一致。本发明不仅能使扫描元件作高频振动，而且大大减少扫描元件高速旋转轴承受的应力。

主权项

1、一种扫描器，通过向具有不同光反射率部分的记号发射光束和接收从上述记号返回的反射光读取上述记号，其特征在于，该对上述记号进行扫描的扫描器中有：(a)扫描元件；(b)包括第1及第2振动部件的夹持部件；所述的第1和第2振动部件位于这样的位置：它们分别在二个垂直的面内振动，使上述扫描元件安装成其质量中心与其高速振动旋转轴一致并使上述扫描元件在第1和第2扫描端之间在第1和第2扫描方向上作一定角度的振动运动，并且与以上述第1和第2垂直扫描方向上各自的轴为中心的角振动运动共同振动，并使上述扫描元件高速和低速振动旋转，(c)读出开始装置；该装置使上述扫描元件在上述第1及第2扫描方向上同时运动，并使上述扫描元件在上述第1及第2扫描端之间同时作一定角度的振动，沿着上述第1及第2扫描方向发射光束，对上述记号实行二维扫描模式。