发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06283612(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930068185 申请日期 1993.03.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TSUCHIMOTO JUNICHI
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址