发明名称 PROCESS AND DEVICE FOR MEASURING STATES AND VARIATIONS OVER TIME OF A SIGNAL.
摘要
申请公布号 EP0432189(B1) 申请公布日期 1994.09.21
申请号 EP19890909544 申请日期 1989.09.01
申请人 BRUST, HANS-DETLEF 发明人 BRUST, HANS-DETLEF
分类号 G01R31/302;G01R31/305;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28;G01R31/318;H01J37/00;G06F11/00 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
主权项
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