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发明名称
SUBSTRATE PROCESSOR
摘要
申请公布号
JPH06260462(A)
申请公布日期
1994.09.16
申请号
JP19930071146
申请日期
1993.03.04
申请人
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD
发明人
ARAKI HIROYUKI;SUGIMOTO KENJI;IKEDA FUMIHIRO
分类号
B08B3/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
B08B3/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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