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发明名称 Herstellungsverfahren von Halbleiter-Scheiben.
摘要
申请公布号 DE3789393(T2) 申请公布日期 1994.09.15
申请号 DE19873789393T 申请日期 1987.01.06
申请人 SIEMENS SOLAR INDUSTRIES L.P., CAMARILLO, CALIF., US 发明人 MOFFATT, ALEX P., CAMARILLO CALIFORNIA 93010, US;JACKSON, RICHARD C., OXNARD CALIFORNIA 93033, US
分类号 H01L21/304;B28D1/22;B28D5/00;B28D5/02;B28D5/04;C30B33/00;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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