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发明名称 WAFER TRANSFER CARRIAGE
摘要
申请公布号 JPH06244266(A) 申请公布日期 1994.09.02
申请号 JP19930055172 申请日期 1993.02.19
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 OKAWA YOSHINORI
分类号 B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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