发明名称 SEQUENCE CONTROL DEVICE AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE USING IT
摘要
申请公布号 JPH06216114(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930007147 申请日期 1993.01.20
申请人 TOSHIBA MACH CO LTD 发明人 EHATA HITOSHI
分类号 G05B19/05;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 G05B19/05
代理机构 代理人
主权项
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