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发明名称
Verfahren zur Abscheidung von Siliziumdioxid hoher Qualität mittels durch Plasma aktivierter Abscheidung aus der Gasphase.
摘要
申请公布号
DE69010308(D1)
申请公布日期
1994.08.04
申请号
DE19906010308
申请日期
1990.09.03
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US
发明人
BATEY, JOHN, DANBURY, CONNECTICUT 06811, US;TIERNEY, ELAINE, DANBURY, CONNECTICUT 06811, US
分类号
H01L21/316;C23C16/40;(IPC1-7):C23C16/40
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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