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发明名称 Elektronenstrahlkopf.
摘要
申请公布号 DE3850441(D1) 申请公布日期 1994.08.04
申请号 DE19883850441 申请日期 1988.04.27
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OKUNUKI, MASAHIKO 182-8 TAKAO ITSUKAICHIMACH, TOKYO, JP;SEKI, MITSUAKI, MACHIDA-SHI TOKYO, JP
分类号 H01J37/06;G01Q30/02;G11B9/10;H01J1/304;H01J37/073;H01J37/244;H01J37/304;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/073;H01J1/30 主分类号 H01J37/06
代理机构 代理人
主权项
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