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发明名称 ION PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH06203785(A) 申请公布日期 1994.07.22
申请号 JP19920361356 申请日期 1992.12.28
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NISHIGAMI YASUAKI
分类号 C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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