| 发明名称 |
CONTACTLESS ELECTRIC MEASURING SENSOR OF SEMICONDUCTOR WAFER AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06194425(A) |
申请公布日期 |
1994.07.15 |
| 申请号 |
JP19920357145 |
申请日期 |
1992.12.22 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
HIRAE SADAO;MATSUBARA HIDEAKI;KONO MOTOHIRO |
| 分类号 |
G01B11/14;G01N27/00;G01R1/07;G01R27/26;G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/302 |
主分类号 |
G01B11/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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