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发明名称 Diazodisulfones.
摘要
申请公布号 EP0440375(B1) 申请公布日期 1994.07.13
申请号 EP19910300563 申请日期 1991.01.24
申请人 WAKO PURE CHEMICAL INDUSTRIES LTD 发明人 URANO, FUMIYOSHI;NAKAHATA, MASAAKI;FUJIE, HIROTOSHI;OONO, KEIJI
分类号 G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):C07C317/28;C07C317/30 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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