发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH06188312(A) 申请公布日期 1994.07.08
申请号 JP19920337581 申请日期 1992.12.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAMORI TSUTOMU
分类号 H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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