发明名称 Verfahren zum bevorzugten Ätzen von polykristallinem Silicium.
摘要
申请公布号 DE3889849(D1) 申请公布日期 1994.07.07
申请号 DE19883889849 申请日期 1988.10.20
申请人 MOTOROLA, INC., SCHAUMBURG, ILL. 发明人 DOCKREY, JASPER WILLIAM, PFLUGERVILLE TEXAS 78660
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/28 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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