| 发明名称 |
ELECTRONIC LIGTHOGRAPHY EQUIPMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06188178(A) |
申请公布日期 |
1994.07.08 |
| 申请号 |
JP19920335782 |
申请日期 |
1992.12.16 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HAYATA YASUNARI;ITO HIROYUKI;KATO SHINICHI;OKUMURA MASAHIDE;SAITO NORIO |
| 分类号 |
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
