发明名称 薄膜晶体管液晶显示器用的信号线装置及其制造的方法
摘要 一种TFT-LCD信号线装置和制造该装置的方法,包括:在玻璃衬底上按预定顺序形成第一和第二金属;确定第二金属宽度后对其进行腐蚀处理;在绝缘结构上沉积第三金属并确定信号线的宽度(W<SUB>2</SUB>),同时除去第一和第二金属的不必要部分。通过两次腐蚀处理,避免了信号线的分离以及源/漏极和栅极间的漏电和短路。所述装置和方法提供了可用于COG的焊盘,提高了产量。
申请公布号 CN1088315A 申请公布日期 1994.06.22
申请号 CN93114476.0 申请日期 1993.11.06
申请人 株式会社金星社 发明人 安炳喆
分类号 G02F1/133;H01L21/00 主分类号 G02F1/133
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 赵蓉民
主权项 1、一种制造TFT-LCD用信号线的方法。它包括以下步骤:按预定顺序在一玻璃衬底上形成第一金属和第二金属;确定所述第二金属的宽度(W1),然后对所述第二金属进行腐蚀处理;在绝缘结构上整个地沉积一层第三金属并确定信号线的宽度(W2)以便同时除去所述第一金属和第三金属的不必要的部分。
地址 韩国汉城