| 发明名称 |
DISK-HOLDING DEVICE IN FILM-FORMING CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06158315(A) |
申请公布日期 |
1994.06.07 |
| 申请号 |
JP19920341143 |
申请日期 |
1992.11.26 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
HASHIMOTO HAJIME;KUBOTA KAZUO |
| 分类号 |
C08J5/22;C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/50 |
主分类号 |
C08J5/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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