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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06140356(A) 申请公布日期 1994.05.20
申请号 JP19920286279 申请日期 1992.10.23
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAKIGAWA MASAHIKO
分类号 H01L21/28;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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