| 发明名称 |
DISPOSITIF POUR RENDRE HOMOGENE L'IMPLANTATION D'IONS SUR LA SURFACE D'ECHANTILLONS PLANS. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2660106(B1) |
申请公布日期 |
1994.05.13 |
| 申请号 |
FR19900003740 |
申请日期 |
1990.03.23 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
LAMURE JEAN MICHEL;MICHAUD JEAN FRANCOIS |
| 分类号 |
C23C14/48;C23C14/50;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):G21K5/08;G21K5/10 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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